Plasmarens introduksjon

Plasma, som faste stoffer, væsker og gasser, er en tilstand av materie, også kjent som den fjerde tilstanden av materie. Plasma dannes når tilstrekkelig energi tilføres en gass til å ionisere den. De "aktive" komponentene i et plasma inkluderer ioner, elektroner, reaktive radikaler, eksiterte nuklider (metastabile tilstander) og fotoner. Plasmaoverflatebehandlingssystemer utnytter egenskapene til disse aktive komponentene til å behandle prøveoverflater, for å oppnå formål som rengjøring, modifikasjon og fotoresistasking.